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Veröffentlichungen zu Tan, Kin.
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Shin, Sang-Mo., Chung, Ho-Kyoon., ... Damage induced by CHF3+C2F6 plasma etching on Si-implanted GaAs(100)
In: Journal of Applied Physics. - [S.l.], ISSN 1089-7550, Vol. 62, No. 5 (1987), p. 1729-1733
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1987