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Erscheinungsjahr:
Veröffentlichungen zu Shin, Chung-Ho
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1
Shin, Sang-Mo., Chung, Ho-Kyoon., ... Damage induced by CHF3+C2F6 plasma etching on Si-implanted GaAs(100)
In: Journal of Applied Physics. - [S.l.], ISSN 1089-7550, Vol. 62, No. 5 (1987), p. 1729-1733
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1987
The damage induced by CHF3+C2F6 plasma etching on GaAs(100) was studied. We exposed GaAs(100) surfaces to various etching conditions and monitored sheet resistance, carrier concentration, and Hall mobility. Significant losses of Hall mobility and carrier concentration, and an increase in sheet... mehr
beteiligte Personen: Shin, Sang-Mo. , Chung, Ho-Kyoon. , Chen, Chung-Hsu. , Tan, Kin.
Erschienen: 1987.
Serie: AIP Digital Archive [Dig. Serial]
Schlagwörter:
URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.339601
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2
Nam, Do-Hyun, Wang, Kyu-Chang, ... A simple method of predicting hormonal outcome in children with intracranial germinoma
in: Child's nervous system , ISSN 1433-0350, Vol. 15 (4. 1999), p. 179-184
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1999