| Veröffentlichungen zu Yun, Seok-Min. | |||
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Verfasser | Titel | Jahr   |
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 1 |
Kim, Jung-Hyung., Seo, Sang-Hun., ... |
The deposition of SiOF film with low dielectric constant in a helicon plasma source In: Applied Physics Letters. - Woodbury, NY : Inst., ISSN 1077-3118, Vol. 68, No. 11 (1996), p. 1507-1509 Zugang: zum Volltext ähnliche Vorschläge |
1996 |
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