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Veröffentlichungen zu Shchegolov, S. S.
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Korobov, A. I., Naumchenko, A. S., ... Correlation in the change of internal stresses and electrical properties in metal-insulator-metal film structures during heat treatment
in: Russian physics journal , ISSN 1573-9228, Vol. 14 (6. 1971), p. 822-824
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1971