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Mehran Mehregany

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weitere Veröffentlichungen von Mehran Mehregany:
Mechanical properties of 3C silicon carbide (1992)
Novel microstructures for the in situ measurement of mechanical properties of thin films (1987)
Microfabricated structures for the in situ measurement of residual stress, Young's modulus, and ultimate strain of thin films (1987)
Nanoelectromechanical systems: Nanodevice motion at microwave frequencies (2003)
Epitaxial growth of 3C–SiC films on 4 in. diam (100) silicon wafers by atmospheric pressure chemical vapor deposition (1995)
Veröffentlichungen zu Mehregany, Mehran.
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Verfasser Titel Jahr absteigend sortierenaufsteigend sortieren
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1
Tong, Lijun., Mehregany, Mehran., ... Mechanical properties of 3C silicon carbide
In: Applied Physics Letters. - Woodbury, NY : Inst., ISSN 1077-3118, Vol. 60, No. 24 (1992), p. 2992-2994
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ähnliche Vorschläge
1992
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2
Mehregany, Mehran., Howe, Roger T.., ... Novel microstructures for the in situ measurement of mechanical properties of thin films
In: Journal of Applied Physics. - [S.l.], ISSN 1089-7550, Vol. 62, No. 9 (1987), p. 3579-3584
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1987
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3
Allen, Mark G.., Mehregany, Mehran., ... Microfabricated structures for the in situ measurement of residual stress, Young's modulus, and ultimate strain of thin films
In: Applied Physics Letters. - Woodbury, NY : Inst., ISSN 1077-3118, Vol. 51, No. 4 (1987), p. 241-243
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1987
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4
Henry Huang, Xue Ming, Zorman, Christian A., ... Nanoelectromechanical systems: Nanodevice motion at microwave frequencies
in: Nature . - London [u.a.] : Nature Publising Group, ISSN 1476-4687, Vol. 421, No. 6922 (2003), p. 496-496
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2003
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5
Zorman, Christian A.., Fleischman, Aaron J.., ... Epitaxial growth of 3C–SiC films on 4 in. diam (100) silicon wafers by atmospheric pressure chemical vapor deposition
In: Journal of Applied Physics. - [S.l.], ISSN 1089-7550, Vol. 78, No. 8 (1995), p. 5136-5138
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1995