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Veröffentlichungen zu Lee, Kwang-Man. [x]
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Kim, Jung-Hyung., Seo, Sang-Hun., ... The deposition of SiOF film with low dielectric constant in a helicon plasma source
In: Applied Physics Letters. - Woodbury, NY : Inst., ISSN 1077-3118, Vol. 68, No. 11 (1996), p. 1507-1509
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1996